?html> 王曦Q专注于用硅做“三明治?清华校友M(x)

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癑ֹ清华

王曦Q专注于用硅做“三明治?/h2>
2009-12-07 |

王曦Q?span lang="EN-US">1966q?span lang="EN-US">8月生Q?span lang="EN-US">1983q考入清华大学工物p，1987q提前一q毕业?span lang="EN-US">

　 王曦最擅长的，是用做一U“三明治”：(x)在一?st1:chmetcnv w:st="on" tcsc="0" numbertype="1" negative="False" hasspace="False" sourcevalue=".5" unitname="毫米">0.5毫米厚的片上，在距表面100U米下，注入一层几癄c뀁厚薄均匀的二氧化“夹心”——这是英文~写?span lang="EN-US">SOI的高端集成电(sh)路硅基材料。王曦带领他的团队，׃十年Q生产出了高品质?span lang="EN-US">SOI材料Qƈ初步实现了业化?span lang="EN-US">

　　SOI是地道的高技术品。h(hun)?span lang="EN-US">20元的硅片注入了q层“夹心”后QnL(fng)ȝ增至200元。用SOI来做芯片Q不仅速度可提?span lang="EN-US">35%Q还可降低能?span lang="EN-US">70%Qƈ可适应包括宇宙I间在内的很多恶劣环境?span lang="EN-US">

　　可是Q难点就在于要将q层“夹心”做得均匀——稍有不匀Q整个硅片会(x)呈现彩虹般的光泽Q或“满脸”麻炏V离子注入制?span lang="EN-US">SOI技术，国外一直对我国实行锁。做出高品质的国?span lang="EN-US">SOI材料Q其意义不言而喻?span lang="EN-US">

　　从上世纪80q代P中科院上冶金所Q现上v微系l所Q就开始了?span lang="EN-US">SOI的研IӞ但一直停留在实验室水q뀂这意味着Q?span lang="EN-US">SOI材料既无法批量生产，质量也不E_?span lang="EN-US">

　　从进入清华大学vQ王曦就专注于“离子注入”技术，直到现在。从1998qvQ他带领团队׃四五q时_(d)完成了材料技术工E化研究——如今的SOI晶圆片表面泛着均匀的粉艌Ӏ?span lang="EN-US">

　　?span lang="EN-US">SOI拉出研究所Q成立公司完成业化Q是王曦的一个重要{折?span lang="EN-US">

　　“在新傲U技公司Q近100名员?span lang="EN-US">5q内全心扑在SOI的研发和生上——这是研I所无论如何做不到的Q”他_(d)刚“下”的时候，曾以为“技术ؓ(f)王”，但后来才感觉到市场、资本和理Q都非常重要。当Ӟ王曦全球跑，与飞利、烦{东芝等公司一家家q行交流Q“这让我对市场有了新的、更q理解。?span lang="EN-US">

　　考虑成本、脓(chung)q客户需求……这让新傲很快有了v艌Ӏ如今，新傲的品不仅满_内市场的需求，q吸引了包括飞利、东芝等大公司在内的很多国际客户。“有人预，未来十年Q国内的卫星都能用上SOI材料做的芯片。?span lang="EN-US">

　　“企业化q作的好处在于，赚了钱可以l投入做更好的技术、扩大规模。现在新傲公司的讑֤比所里的好很多。”说到这里，王曦有点兴奋Q语调也随之提高。最q，新傲q研发出了一独步世界的新方法——特D键?span lang="EN-US">SOIҎ(gu)Q可以满x车电(sh)子对?span lang="EN-US">SOI材料均匀性、电(sh)学性能的苛刻要求。“一?span lang="EN-US">SOI材料的‘夹心’不过400U米Q?span lang="EN-US">0.4微米Q，而这U方法可‘夹心’非常均匀地做厚到1-2微米。?span lang="EN-US">

　　“要不是金融危机Q新傲今q本来准备考虑上市。”n为新傲的董事长，王曦_(d)q十q自己最大的收获Q就是高技术一定要在市Z发展Q才真正h生命力。今q?span lang="EN-US">3月，他出dpȝ所法h代表、常务副所长，上Q后立ȝ手推q所里另两个高技术项目的产业化进E—?span lang="EN-US">MEMS传感器和无线传感|?span lang="EN-US">

　　“其实我只专长离子注?span lang="EN-US">SOI”，提及(qing)当选院士的感想Q王曦说Q一个h的精力有限，只有在一个领域中持之以恒Q才能做Z些成l。“是U技成果转化成就了我Q如果让我再选择一ơ，我还?x)选择走高技术与市场l合的\。?/span>Q许琦敏Q?span lang="EN-US">

转自 文汇?span lang="EN-US"> 2009q?2??/span>

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